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GC特气柜（Gas Cabinet）和GR特气架（Gas Rack）的功效设计

宣布时间：2021-07-14 | 游览：8584

内容摘要：特气柜Gas Cabinet是专为易燃易爆、侵蚀性、毒性等危险性气体供应而设计的供应系统，，，，，，，按种别可分为：全自动、半自动和手动操作。。。 。�；；；；；；；；竟πОㄗ远瞪ā⒆远谢灰约敖羝惹樾蜗碌淖远寰睬卸希ǖ鄙瓒ūň藕疟淮シ⑹保�。。 。。

GC特气柜（Gas Cabinet）和GR特气架（Gas Rack）的功效设计

特气柜Gas Cabinet是专为易燃易爆、侵蚀性、毒性等危险性气体供应而设计的供应系统，，，，，，，按种别可分为：全自动、半自动和手动操作。。。 。�；；；；；；；；竟πОㄗ远瞪ā⒆远谢灰约敖羝惹樾蜗碌淖远寰睬卸希ǖ鄙瓒ūň藕疟淮シ⑹保�。。 。。

全自动气柜通过接纳PLC控制，，，，，，，触控屏为人机界面，，，，，，，通过装备装置的压力传感器、气动阀、过流量计等装置，，，，，，，实现装备清静有用的运行。。。 。。其内部PLC程式设计的清静联锁功效和高纯阀件的合理选择和结构，，，，，，，既知足了半导体工艺生产历程中对特殊气体一连供应和高纯度的要求，，，，，，，同时也确保了工厂正常生产和员工人身清静。。。 。。下面由盖斯帕克为各人简朴先容一下GC特气柜（Gas Cabinet）和GR特气架（Gas Rack）的功效设计。。。 。。

特气柜/架，，，，，，，VMB/VMP简介

GC—Gas Cabinet 气瓶柜(用于危害性气体) GR—Gas Rack 气瓶架(用于危害性气体)

VMB—Valve Manifold Box 阀门箱(用于危害性气体) VMP—Valve Manifold Panel 阀门盘(用于危害性气体) 特气柜和VMB主要用于易燃易爆侵蚀有毒等危害性气体，，，，，，，而气瓶架和VMP一样平常用于非危害性气体；；；；；；；；主要区别在于，，，，，，，特气柜和VMB都要有一个外壳上有抽风管，，，，，，，当爆发小泄露等危险情形时可将此类气体倾轧去阻止扩散爆发更大危险。。。 。。

Gas Cabinet / Gas Rack 特气柜/气瓶架/特气盘面 : 功效设计

可分为单钢瓶(1process)/ 双钢瓶( 2 Process ) / 三钢瓶(2 Process + 1 N2) 气瓶柜内的钢瓶数设计可分为三种：划分为单钢瓶、双钢瓶、三钢瓶。。。 。。

（1）单钢的设计通常使用于研究机构或实验室等。。。 。。工艺制程尚未有量产，，，，，，，气体使用量小�。。 。。�，，，，，，现场

可随时协调�；；；；；；；；傩懈制恐婊唬�，，，，，，其优点节约空间、本钱低、但需透过一样平常之治理与协调以免中止工艺制程造成损失。。。 。。

（2）双钢与三钢常用于量产工厂，，，，，，，工艺制程不允许�；；；；；；；；樾危�，，，，，，当一支钢瓶使用完后，，，，，，，另一支备

用钢瓶（stand by）会自动转为供气，，，，，，，此两种形式最大的差别是在purge管路的纯化氮气是以钢瓶或厂务端供应，，，，，，，当purge用的PN2统一由厂务端来供应时，，，，，，，所有特殊气体供应系统不管是否相容，，，，，，，所有毗连到统一个供应源，，，，，，，会有较高的危害值；；；；；；；；万一中央供应系统的PN2中止，，，，，，，警报系统又损坏，，，，，，，恰巧两种不相容的气体同时使用purge，，，，，，，此时极有可能爆发爆炸的事务爆发，，，，，，，相同性子可使用统一瓶钢瓶来purge增添的本钱及空间很是有限，，，，，，，是一种很是好的应变方法。。。 。。

（3）三钢气柜本钱不会差许多清静性会是最好的，，，，，，，只要空间允许应最优先选择。。。 。。

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